기획특집 [SF+AW 2022 PREVIEW] 리스광시스템, 웨이퍼 검사 시스템 등 전시

리스광시스템이 오는 4월 6일부터 8일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘스마트공장·자동화산업전 2022(Smart Factory+Automation World 2022, 이하 SF+AW 2022)’에 참가한다. 리스광시스템이 이번 SF+AW 2022에서 선보이는 대표적인 제품은 현미경, 텔레센트릭 렌즈, 웨이퍼 검사 시스템이다. 전시될 제품을 하나씩 살펴보면, 현미경은 쾰러 조명계 & 튜브 렌즈, 대물 렌즈로 구성되어있는 광학계이며, 다양한 배율의 튜브 렌즈와 대물 렌즈 적용이 가능하다. 필터, 편광자, 빔 스플리터 등 다양한 광학 부품들을 적용할 수 있으며, 공간적 제약이 많은 환경에서 사용할 수 있도록 최적화 되어있다. 웨이퍼 검사, 원자 현미경, 바이오 칩 검사 등에 사용이 되고 있으며, 고객 요청에 따른 전 사양 커스터 마이징이 가능히다. 다음으로 텔레센트릭 렌즈는 시료의 단차 또는 원근감으로 인한 불필요한 영상을 제거하고 2D 영상을 보여주며, 필드 높이 & 투시 각도에 관계없이 검사가 가능한 광학계다. 스탠다드 타입과 고 분해능 타입이 있으며, 현재 시장 동향에 맞춰 가기 위해 센서 사이즈 1.1인치가 커버 가능한 라인업이 구성 되어있다

• 김진희 기자
• 2022-03-12 15:15